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  • 工業激光器

    激光切割、鉆孔、打標、剝離、消融、退火

    產品

    GENIUS系列紫外皮秒激光器

    特征參數:

    ● 150-350mW@355nm
    ● 80MHz重復頻率 / 12ps脈寬
    ● 高光束質量M2<1.3
    ● 緊湊、密封、堅固的工業級操作平臺確保了良好的光束性能和長期的功率穩定性。

    應用:

    ● 半導體晶圓檢查
    ● 細胞篩選
    ● 微加工
    ● 微型立體光刻

    GENIUS系列紫外皮秒激光器

    • 商品圖尺寸

      Product size diagram
    • 規格參數

      Specification parameter
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    • 1111.jpg

    • 光束特性



      項目

      GENIUS-150

      GENIUS-350

      波長(nm)

      355nm

      功率

      150mW

      350mW

      重復頻率1(MHz)

      80MHz±1MHz

      脈寬2(ps)

      <12ps

      光束質量

      TEM00(M2<1.3)

      平均功率穩定性3(RMS)

      <2%

      偏振度

      >100:1 水平

      光斑圓度(%)

      >85%

      光束指向性4(μrad/℃)

      <20μrad/℃

      光斑尺寸5(mm)

      ~1mm

      一般特性


      電源輸入

      220 VAC ±5% 50-60Hz

      能量損耗

      <1kW

      冷卻方式

      閉路循環水冷

      工作條件

      溫度 15-35℃  濕度 <65%

      加熱時間(min)

      <40min

      GENIUS 圖片1.jpg        GENIUS 圖片2.jpg

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